工业气体的应用范围非常广泛,种类也非常丰富,包括氧、氮、氩、氖、氦、氪、氙、氢、二氧化碳、乙炔、天然气等。这些气体各自具有不同的化学性质,应用环境也各不相同,在国民经济中也具有举足轻重的作用。
工业气体用量的传统行业主要有:炼钢、炼铁、有色金属冶炼、化肥生产、乙稀、丙稀、聚氯乙稀、人造纤维、合成纤维、硅胶橡制品、电缆和合成革等,包括石油化学工业、机械工业焊接、金属热处理等。由于这些产业在近几年发展迅猛,这些气体的用量也随之增加。
在高新技术产业中的半导体生产过程中,需要使用到很多高纯气体,这是普通气体的提纯,具体可以分为以下几类:
特种气体:sih4、ph3、b2h6、a8h3、cl、hcl、cf4、nh3、pocl3、sih2cl2、sihcl3、nh3、bcl3、sif4、clf3、co、c2f6、n2o、f2、hf、hbr、sf6等,以及它们与氮、氩、氢、氦的混合气体等,若以上述半导体使用时危险性的分类,可分为:
一、可燃、自燃、可燃气体,在空气等助燃气体中点火就会燃烧,可燃、气体都有一定的火燃烧范围,此范围越大的气体则危险越高,属于此类气体如:h2、nh3、sif4、ph3、2h6、clf3、sih2cl2、sihcl3等;
1、主体成分含量必须大于某一定值。
2、各杂质组分含量必须小于某一定值。
电子工业用气、仪器仪表校准用的零点气、标准气配制用气、色谱载气等均需满足以上要求, 可列为高纯气体。
高纯气体的纯度= 主体成分含量= 1-∑ 杂质含量。事实上, 用实验方法直接准确测定高纯气体中主体成分含量是非常困难的。既使象二氧化碳这类产品, 可以通过规定的方法, 直接测定得到“纯度值”, 但该值也包含有水分、酸性气体及其它与强碱作用的成分。所以说, 该“纯度”也并非理论意义上的气体纯度。
而另外一种通过测定气体中所含有的所有杂质成分, 计算求得气体纯度的方法, 同样难以实现。
那么, 目前市场上高纯气体产品的“纯度”含义又是什么呢? 小编认为, 所谓高纯气体纯度是通过规定方法直接测得或扣除规定杂质计算求得的浓度值。这种规定是生产者和用户依据生产过程和使用目的共同协商的结果。
评价高纯气体的质量, 除进行“纯度”指标评价外, 还需依据标准对规定杂质进行逐一核对。任何一项超出规定的要求, 都不能称之为合格品。